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大尺寸高精度固晶机AS4212

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产品介绍

特点:

1. 双臂固晶,角度可调,适应不同尺寸基板;

2. 载具下沉式设计,可全程带载具工艺实现;

3. 采用大理石机台具有更高的稳定性;

4. 采用直线电机模组具有更高的耐用性;

5. 具备真空漏晶检测和吸嘴防堵设计;

6. 真空固晶平台和表面平整度修正设计;

7. 并联式连线,实现后进后出自动上下板;

8. 取晶平台可选配晶圆环自动校正;

9. 可选配自动换环组件,提升固晶效率


技术规格:

大尺寸高精度固晶机AS4212
序号模块项目参数
1系统精度贴合精度位置精度: <±15um
角度误差:<1°
生产周期45K/H@5.0pitch
2固晶工作台固晶范围480mm*840mm(标准)
其他(定制)
最大基板厚度(含载具)<4mm
基板长度50mm-840mm(标准)
基板宽度50mm-480mm(标准)
XY分辨率0.04mil(1μm)
3晶圆工作台

晶片大小


晶圆环


基最大芯片面积尺寸

XY分辨率 

3*5mil~20*20mil
晶圆环/6寸(标准)
其他尺寸(定制)
5吋(直径127mm)扩张后
0.04mil(1μm)
4吸晶摆臂转塔6工位旋转固晶
固晶压力40~250克(可调)
5图像识别系统灰阶度256级灰度
分辨率720X 540像素
6工作环境输入电源380/220VAC,50Hz
运行功率15KW
压缩空气0.3~0.5Mpa(无水无油)
相对湿度45%~60%
环境温度24±2度
无尘车间≤10万级
7体积及重量机台重量2300kg
设备尺寸(mm)L1650mm*W1830mm*H1620mm(不含接驳台、三色灯)




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