特点:
1. 双臂点胶/固晶,角度可调,适应不同尺寸基板;
2. 载具下沉式设计,可全程带载具工艺实现;
3. 采用大理石机台具有更高的稳定性;
4. 采用直线电机模组具有更高的耐用性;
5. 具备真空漏晶检测和吸嘴防堵设计;
6. 真空固晶平台和表面平整度修正设计;
7. 并联式连线,实现后进后出自动上下板;
8. 取晶平台可选配晶圆环自动校正;
9. 可选配自动换环组件,提升固晶效率;
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