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AS3603-COB倒装固晶机

双邦头交替固晶,排列一致性好;6个晶圆环,一次装夹完成RGB三色固晶;

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产品介绍

特点:

1. 双臂交替固晶,提升固晶效率;

2. 六个晶圆环,可一次装夹实现RGB混打;

9. 取晶平台可选配晶圆环自动校正;

4. 采用大理石机台具有更高的稳定性;

5. 采用直线电机模组具有更高的耐用性;

6. 具备真空漏晶检测和吸嘴防堵设计;

7. 真空固晶平台和表面平整度修正设计;

8. 并联式连线,实现后进后出自动上下板;

3. 支持单机多环和多机多环联合混打功能;

10. 可选配自动换环组件,提升固晶效率;


技术规格:

COB倒装固晶机AS3603
序号模块项目参数
1系统精度贴合精度位置精度: <±15um
角度误差:<3°
生产周期90ms;  40K/H @1.0 pitch(蓝/绿/)
2固晶工作台固晶范围180mm*250mm(标准)
其他(定制)
最大基板厚度(含载具)12mm
基板长度50mm-260mm(标准)
基板宽度50mm-200mm(标准)
XY分辨率0.04mil(1μm)
3晶圆工作台

晶片大小


晶圆环


基最大芯片面积尺寸

XY分辨率 

3*5mil~20*20mil
3个晶圆环/6寸(标准)
其他尺寸(定制)
5吋(直径127mm)扩张后
0.04mil(1μm)
4吸晶摆臂摆臂旋转固晶
固晶压力20~250克(可调)
5图像识别系统灰阶度256级灰度
分辨率720X 540像素
6工作环境输入电源220VAC ,50Hz
运行功率1.6KW
压缩空气0.3~0.5Mpa (无水无油)
相对湿度45%~60%
环境温度24±2度
无尘车间≤10万级
7体积及重量机台重量1500kg
设备尺寸(mm)L1700*W1360*H1500(不含接驳台、三色灯)




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