卓兴半导体官网

服务热线:18929351619

产品Product Center

AS3602PD 双点胶全自动固晶机

全国咨询热线:

18929351619

联系我们 在线客服

扫一扫关注我们扫一扫关注我们

产品介绍

特点:

1. 双臂点胶/固晶,角度可调,适应不同尺寸基板;

2. 载具下沉式设计,可全程带载具工艺实现;

8. 取晶平台可选配晶圆环自动校正;

3. 采用大理石机台具有更高的稳定性;

4. 采用直线电机模组具有更高的耐用性;

5. 具备真空漏晶检测和吸嘴防堵设计;

6. 真空固晶平台和表面平整度修正设计;

7. 并联式连线,实现后进后出自动上下板;

9. 可选配自动换环组件,提升固晶效率;


技术规格:

点胶固晶机AS3602PD
序号模块项目参数
1系统精度贴合精度位置精度: <±20um
角度误差:<3°
生产周期25K/H @1.0 pitch
2固晶工作台固晶范围400mm(可调)*550mm(标准)
其他(定制)
最大基板厚度(含载具)12mm
基板长度100mm-550mm(标准)
基板宽度300mm-400mm(标准)
XY分辨率0.04mil(1μm)
3晶圆工作台晶片大小
晶圆环
最大芯片面积尺寸
XY分辨率
3*5mil~20*20mil
2个晶圆环/6寸(标准)
其他尺寸(定制)
5吋(127mm)扩张后
0.04mil(1μm)
4吸晶摆臂摆臂可调角度旋转固晶
固晶压力20~250克(可调)
5图像识别系统灰阶度256级灰度
分辨率720X 540像素
6工作环境输入电源220VAC ,50Hz
运行功率1.6KW
压缩空气0.3~0.5Mpa (无水无油)
相对湿度45%~60%
环境温度24±2度
无尘车间≤10万级
7体积及重量机台重量2200kg
设备尺寸(mm)L1760*W1400*H1450(不含接驳台、三色灯)



最新资讯

18929351619

服务热线:18929351619

联系电话:18929351619

公司传真:0755-29691921

公司邮箱:zjx@asmade.cn

公司地址:深圳市宝安区石岩街道上龙路27号卓兴工业园