直显固晶机 ASM3603

特点:

1.双邦头交替固晶,排列一致性好;

2.6个晶圆环,一次装夹完成RGB三色固晶;

3.可串联/并联,多机连线;实现自动化和混打功能;

4.双搜晶系统和晶圆角度修正;

5.真空漏晶检测;

6.固晶台真空吸附和表面平整度修正;

 

技术规格:

序号

项目

参数

1

固晶台尺寸 

170mm * 320 mm(标准)

220mm * 400mm(定制)

2

晶片大小

3*5mil ~ 20*20mil

贴合精度

位置精度:<+/-15um

角度误差:< 1º

4

生产周期

90ms;40K/H  @1.0 pitch(蓝/绿)

5

固晶压力

20~250克可调

6

晶圆环

6寸(标准)

其他尺寸(定制)

工作环境

电源:220VAC,50Hz;

功率:7500W;

压缩汽体:0.35~0.5MPa

8

机台重量

约1800kg

9

安装尺寸

约1.8mm* 1.6mm * 1.3 mm