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方案Solution

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AS8100系列

适用于TEC,MEMS,SIP

方案详情

1.转塔多工位结构,取贴、拍照补偿同时进行

2.多工序并行,Z/R轴直连,高效率和高精度;

3.根据定制化工艺特点,可选配多种辅助功能;

4.可搭配不同点胶控制器,满足多种工艺需求;

5.具备AI精度自动补偿和压力修正;

6.运动系统均采用马达直连,确保高精度;

7.具备高精度闭环压力控制系统;

8.采用大理石台面,具有更高稳定性。


序号

模块

项目

参数

1

系统性能

机型分类

湛卢

龙泉

鱼肠

贴合X/Y精度、角度误差

3σ=±15um、≤1°

3σ=±7um、≤0.3°

3σ=±3um、≤0.1°

160ms(23K/H)

500ms(7K/H)

1.2K/H(3S)

生产周期

2

物料工作台

贴装区域

100×300(mm)

上下料模式

弹夹/叠料/IN LINE 弹夹/IN   LINE

3

晶圆工作台

晶片尺寸

3*5 mil ~ 20*20 mil

晶圆尺寸及厚度

6”/8”/12”  100um-1mm

4

取、贴晶片

取、贴方式

转塔式多工位,循环贴取

贴片压力

30g-200g

5

体积

设备尺寸(mm)

L2900* W1600 * H1600(不含显示器三色灯)